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江苏PVD真空镀膜的常见质量问题有哪些及如何解决?
来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2024-10-28
江苏PVD真空镀膜常常出现质量问题,像膜层附着力差、表面有瑕疵、膜层厚度不均匀等。膜层附着力差,也许是基片表面没清洁干净或者镀膜工艺参数不合适。
解决方法是强化基片清洗工作,优化工艺参数,比如升高基片温度。表面出现瑕疵,可能是真空室内有杂质,或者镀膜时异常放电。对此要定期清理真空室,检查和维护设备,保障其正常运转。而膜层厚度不均,可能是蒸发源或溅射源分布不合理,这就需要调整源的位置,或者采用更均匀的镀膜方法来解决。