PVD真空镀膜的表面清洁非常重要，直接影响产品质量。加工好的零件在进入涂装车间前，电镀前必须仔细清洗。表面污染来源于零件在加工、运输、包装过程中附着在零件上的各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗液等物质。为了避免加工过程中出现不良现象，真空镀膜厂基本上可以通过脱脂或化学清洗的方式去除。

清洁后的表面不应存放在大气环境中，而应存放在密闭的容器或干净的柜子中，以减少灰尘污染。通过将玻璃衬底储存在新氧化的铝容器中，氢化阶段的蒸汽吸附可以降低到低水平。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对水蒸气非常敏感的高度不稳定表面应进行真空镀膜，并通常储存在真空干燥箱中。

PVD涂装工艺可以去除涂装间的灰尘，打造洁净车间。保持内部高度清洁是涂装工艺环境的基本要求。在空气湿度大的区域，除了电镀前仔细清洗底板和真空室外，还应进行烘烤和脱气。为了防止油进入真空室，注意扩散泵的回流，对于高热功率的扩散泵应采取防油措施。