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真空镀膜时如何避免膜层中的针孔缺陷?
来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2024-12-17
在真空镀膜作业时,膜层产生针孔缺陷会对产品的性能与外观造成不良影响。针孔形成的因素有:基片微观层面存在孔洞及划痕,导致镀膜阶段膜料难以均匀附着;镀膜室的真空程度不足,气体分子在膜层沉积期间混入其中,从而产生针孔;膜料自身纯度不够或含有杂质,同样会造成膜层出现针孔现象。
对此,可采取以下措施进行应对:一,针对基片实施精细研磨和抛光等预处理流程,以填补其表面微小的孔洞与划痕;二,提升镀膜室的真空度,采用更加好的真空泵系统,并定期对设备的密封性能展开检测与维护;三,挑选高纯度的膜料,并在镀膜前对其进行全面的预处理操作,例如烘烤去潮、进行筛选等,剔除杂质,由此切实降低膜层中针孔缺陷的出现几率。