1、真空涂装设备每完成200多个涂装程序，应清理工作室一次。
方法：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复清洁真空室内壁（注意人体皮肤不能接触烧碱溶液，防止烧伤），目的是使镶嵌膜铝材料（AL）与NaOH发生反应，反映膜层脱落，释放氢气。用清水清洗真空室，用布蘸汽油清洗抽油阀内的污渍。
2、当粗泵(滑阀泵、旋片泵)连续运行一个月(雨季减半)时，需要更换油。
方法：拧开油螺栓，排出旧油，然后启动泵几秒钟，使泵内的旧油完全排出。拧回放油螺栓，将新油加入额定量（油视镜观察）。坚持使用半年左右，换油时打开油盖，用布擦拭箱内污渍。
重新打开真空镀膜机前，应注意泄漏测量。
扩散泵坚持使用6个月以上，泵速明显减慢，或操作不当，充入大气，拆下连接水管，拆下电炉盘，拧出一级喷嘴，先用汽油清洗泵腔和泵胆，再用肥皂粉加水清洗，再用清水清洗。水分蒸发干净后，安装泵胆，加入新的扩散泵油，装回人体，连接水管，安装电炉盘，然后重新启动。重新启动前，注意泄漏测量。
方法：启动保持泵，关闭门。几分钟后，观察扩散泵的真空值是否达到6X10帕，否则应进行泄漏测量。检查连接处是否安装密封胶圈或压碎密封环。排除泄漏风险后，可加热，否则扩散泵油会烧环，真空涂层设备无法进入工作状态。