你听说过离子镀吗？真空镀膜真空离子镀在加工上和普通离子镀有什么区别？

蒸发物质的分子经过电子碰撞电离后以离子的形式沉积在固体表面，称为离子镀，也就是常见的离子镀。真空离子镀是真空蒸发和阴极溅射的结合。离子镀系统以基材为阴极，外壳为阳极，充入惰性气体(如氩气)产生辉光放电。当被蒸发源蒸发的分子通过等离子体区时，它们被电离。

正离子被负电压加速到基材表面。离子化的中性原子也会沉积在衬底或真空室的壁表面上。电场对电离蒸气分子的加速作用(离子能量约为几百到几千电子伏)和氩离子对基片的溅射作用，大大提高了薄膜的附着强度。离子镀技术结合了蒸发(高沉积速率和溅射)的特点，具有良好的衍射性，可用于镀制形状复杂的工件。