真空镀膜设备主要是指一种需要在高真空度下进行的镀膜，包括很多种，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等等。主要思想是将其分为蒸发和溅射。

需要镀膜的就成了基材，镀的材料就成了靶材。衬底和靶一起在真空室中。

蒸发镀膜一般是将靶材加热，使表面成分以原子团或离子的形式蒸发，并沉积在基片表面。通过成膜过程(散点-岛状结构-杂散结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射镀膜，可以简单理解为用电子或激光轰击靶材，表面成分以原子团或离子的形式溅射出来，终沉积在基片表面，经过成膜的过程，终形成薄膜。

真空镀膜设备维护技巧

1.真空镀膜设备200多道涂装工序完成后，工作室要打扫一次。方法是:用苛性钠饱和溶液反复擦洗真空室内壁(注意人体皮肤不要直接接触苛性钠溶液，以免灼伤)。目的是使镀膜材料铝与NaOH发生反应，反应后薄膜会脱落并释放出氢气。然后用清水清洗真空室，用蘸有汽油的布清洗细抽阀内的污垢。

2.当低真空泵(滑阀泵、旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)时，需要更换新油。方法是:拧下放油螺栓，将旧油放掉，然后启动泵几秒钟，使泵内旧油全排出。拧回注油螺栓，并添加新油至额定量(用油镜观察)。连续使用半年以上，换油时要打开油盖，用布将盒内污垢擦拭干净。

3.如果扩散泵已连续使用6个月以上，则抽气速度明显变慢，或操作不当。充入大气，拆下连接水管，卸下电炉板，旋出一次喷嘴。先用汽油清洗泵腔和泵衬，再用洗衣粉加水冲洗。然后，用清水清洗。水蒸发干后，装上泵胆，加新的扩散泵油，放回体内，接好水管。重启机器前，注意泄漏检测。

方法是:启动维护泵，关闭门，几分钟后，观察扩散泵的局部真空度是否达到6X10 Pa，否则需要检漏。检查密封橡胶圈是否安装在接头处或密封圈是否被压碎。排除漏气隐患后才能加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。