真空镀膜设备是由许多精密的零部件所组成的，这些零部件均经过许多机械加工流程而制作出来，如焊接、磨、车、刨、镗、铣等工序。正因为有了这些工作，导致设备零部件表面不可避免地会沾染一些加工带来的油脂、油垢、金属屑、焊剂、抛光膏、汗痕等污染物。这些污染物在真空条件下易挥发，从而对设备的极限真空造成影响。

此外，这些机械加工带来的真空污染物在大气压环境中吸附大量的气体，而到了真空状态下，这些原先吸附的气体也会被再次释放出来，成为限制真空系统的极限真空的一大主要因素。为此，在真空镀膜机零件组装之前，必须先将污染物清除掉。

在使用真空设备过程中，其零部件还会受污染。不过这种来源的污染主要是使用条件、真空泵两方面造成的。

1、真空规管的灯丝在高温条件下蒸发，将导致陶瓷绝缘子上形成一层薄膜，对其绝缘强度有一定的损坏，对其测量的准确性也有一定的影响；

2、由于高温蒸发，会使真空中的电子枪的灯丝附近表面形成一层金属膜；

3、由于工件溅射，离子束刻蚀设备的内壁会被溅散物所污染；

4、真空蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染；

5、经常使用真空干燥系统，该系统会受蒸发出来的物质所污染；

6、真空镀膜设备中的扩散泵油、机械泵油等更是一大主要污染来源，镀膜机长期工作后，设备内部可能会形成一层油膜。

综上所述，设备的真空卫生涉及到真空设备、真空系统、真空工艺生产等各方面与环节，涉及到了真空镀膜设备本身和特殊真空工艺对使用条件的要求，因此，真空污染是一个值得被重视的问题，因为这些污染会影响设备性能，应注意定期或随时进行清洁工作。