当PVD镀膜层处于高应力环境，出现脆性开裂影响使用。首先，在镀膜前对基底进行预处理，如采用离子注入技术，改善基底表面的微观结构，降低膜层与基底间的应力集中。
 其次，优化PVD镀膜工艺，控制沉积速率。过快的沉积速率会使膜层内应力增大，适当降低沉积速率，让原子有更充分时间排列，减少内应力。
 再者，选择合适的镀膜材料组合，通过添加少量韧性元素，形成合金膜层，提升膜层韧性。
 另外，在PVD镀膜后进行适当的热处理，消除部分内应力，增强膜层抵抗脆性开裂的能力。