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在真空镀膜过程中,如何解决真空镀膜中的针孔问题?

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2025-01-14

 在真空镀膜过程中,针孔问题对镀膜质量影响显著。解决此问题可从以下方面着手:
 先要做好基底处理工作。通过化学清洗与物理打磨手段,全面清洁基底表面的油脂、灰尘及氧化物等杂质。例如,先用酒精等有机溶剂清洗基底,除去有机污染物,再用砂纸打磨或抛光机抛光,使基底表面平整,为镀膜创造良好条件。
 其次,严格控制真空环境。选用性能优良的真空泵,提高真空度,尽可能降低真空室内的残余气体量。同时,对进入真空室的气体进行精密过滤,防止杂质气体进入,避免因气体问题产生针孔。
 再者,要保证真空镀膜材料的纯度,降低因材料杂质引发针孔的概率。
 另外,合理调整镀膜工艺参数,如准确控制镀膜速度和温度,让镀膜材料能均匀、牢固地附着在基底表面,从而减少针孔的出现。 

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