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真空镀膜过程中怎样确保膜层的均匀性?

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2024-08-07

 在真空镀膜过程中,如果要保证膜层均匀,需从多方面进行把控。
 一,优化镀膜设备的设计,确保蒸发源或溅射源分布合理,以及气体流量的稳定控制。比方说,采用多源蒸发或旋转基片的方式,能够促使膜材更均匀地在基片上沉积。
 二,准确把控工艺参数极为关键。像真空度、沉积速度、基片温度等都需注意。真空度过高或者过低,都可能对膜层均匀性造成不良影响,而合适的沉积速度和基片温度有利于膜材均匀分布。此外,基片的表面清洁度和预处理工作不能忽视,干净且经过妥善处理的基片有助于膜层均匀附着。

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