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谈谈江苏PVD真空镀膜膜层结合力不佳的原因与解决措施

来源:www.hx-pvd.com 发表时间:2024-07-10

 PVD真空镀膜膜层结合力差的缘由:
 1.基片表面清洁程度不足,有油污、杂质附着或者存在氧化层。
 2.江苏PVD真空镀膜过程中的工艺参数设定不合理,像沉积温度、沉积速度、真空程度等。
 3.靶材存在质量缺陷,例如纯度未达标、表面受到污染等。
 PVD真空镀膜膜层结合力差的解决措施:
 1.加大基片表面清洁处理的力度,运用适宜的清洗工艺,像利用超声波清洗、进行等离子清洗等,保证基片表面干净无污。
 2.对江苏PVD真空镀膜的工艺参数加以优化,通过多次试验,明确沉积温度、沉积速度以及真空程度等相关参数。
 3.挑选高质量的靶材,保证靶材的纯度达标,并且在投入使用前做好靶材的清洁处理工作。

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