pvd真空镀膜工件前表面的清洁非常重要，直接影响电镀产品的质量。在进入镀膜室之前，工件须仔细清洗。工件表面污染来源于加工、运输、包装过程中附着在工件上的各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗液等物质。为了避免加工过程中出现缺陷，厂家基本上可以通过脱脂或化学清洗的方法除工件表面的污渍。

清洗后的物体表面不应存放在车间内，而应存放在密闭的容器或洁净的柜子内，以减少粉尘污染。通过将玻璃基板储存在新氧化的铝容器中，可以碳氢化合物蒸汽的吸附。因为这些容器优先吸附碳氢化合物产品。对水蒸气敏感的高度不稳定表面的涂层处理一般应存放在真空干燥箱中。

清理涂装间的灰尘，建设洁净车间，保持室内高度清洁，是涂装过程中对环境的基本要求。在空气湿度高的地区，电镀前除了仔细清洁真空室中的基板和零件外，还需要烘烤和抽气。为防止油带入真空室，应注意油扩散泵的回油情况，对加热功率大的扩散泵应采取挡油措施。