真空镀膜机装置的主要泵形式分为两种，即油真空泵和无油超滤装置。这两个系统软件的工作形式都不一样。以下真空镀膜设备制造商分析了主要的泵形式。

有机油超滤装置基本为油扩散泵，前置泵为真空泵或罗茨真空泵。我们知道，油扩散泵的工作压力方向比较大，同时抽真空速度很高，可以达到每秒10万升以上，其专业能力在业内数一数二，这也归功于其优秀的特质。就优点而言，该有机油超滤装置运行可靠，无振动、无噪音，使用寿命长，维护和库存创建成本低。是很多厂商喜爱的应用。但是它的缺陷也很明显，就是会产生污染物，而大型泵在这些方面就比较严重了。

无油超滤装置采用分子泵和低温泵作为主泵，其关键特点集中在可以连续大量抽真空，并且可以得到一个极高的真空泵来清理无油。而且启动时间快，停泵时间短。

然而，系统软件泵送重蒸汽的速度比轻蒸汽快，而泵送水蒸气的效率较慢。当大量蒸汽通过泵时，泵的效率会迅速降低。