PVD真空镀膜的表面清洗非常重要，直接影响产品质量。加工后的零件进入涂装车间前，必须在电镀前仔细清洗。表面污染来自加工、运输和包装过程中附着在零件上的各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗液等物质。为了避免加工过程中出现不良现象，真空镀膜厂家基本上可以通过脱脂或化学清洗的方式去除。

清洁后的清洁表面不能存放在大气环境中，而应存放在封闭的容器或干净的橱柜中，以减少灰尘污染。通过将玻璃基板储存在新氧化的铝容器中，可以******限度地减少碳氢化合物蒸汽的吸附。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对水蒸气敏感的高度不稳定表面应进行真空涂覆，并通常储存在真空干燥箱中。

PVD真空镀膜工艺可以去除镀膜室的灰尘，并建立一个干净的车间。保持室内高度清洁是涂装工艺环境的基本要求。在空气湿度大的区域，除了在电镀前仔细清洗底板和真空室外，还应进行烘烤和脱气。为了防止油进入真空室，并注意油扩散泵的回流，对于高热功率的扩散泵应采取防油措施。